TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

簡要描述：

瑞士 TRIMOS TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。

產品時間：2020-03-12

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀的詳細資料：

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。于刀具制造工業，根據多點譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統，可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量，具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點：

強大的多點共焦技術，zui準確的測量出表面形貌數據（角度、半徑、輪廓、粗糙度）
通過光學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數
測量速度快，可整合成一個高效的在線測量系統
適用于陡峭的斜面，爬坡角度高達85度
垂直分辨率高達30nm
TRSCAN是*可同時獲得表面形貌和真實顏色信息的3D測量設備，測量更加精確靈活
通過腳本自動測量，更適用于批量測量，并生成圖形或數字報告
粗糙度和輪廓測量符合*EN/ISO4287標準
可用于選定區域的面積及體積計算
可選配轉臺，實現三維掃面
可用于復雜幾何外形的形狀分析，可測量角度、半徑等表面特征

技術參數：

工作臺移動范圍X	100mm
工作臺移動范圍Y	固定式
工作臺移動范圍Z	240mm
XYZ軸zui小位移量	0.1μm
XYZ軸定位精度	1μm
XY軸導軌直線度	1.5μm
工件zui大重量	20kg
測量原理	非接觸式多點譜線共焦傳感器
光源	白色LED共軸光，高強光，數字可控
色譜共焦傳感器	CLS0.2	CLS1	CLS4
線寬	0.96mm	1.92mm	4.8mm
工作距離	5.3mm	18.2mm	39mm
光斑間隙	5μm	10μm	25μm
光斑大小	2μm	4μm	10μm
爬坡坡度	±44deg	±33deg	±20deg
測量范圍	200μm	950μm	4mm
軸向分辨率	30nm	120nm	500nm
精度	90nm	360nm	1.5μm
厚度zui小分辨率	15μm	70μm	300μm
測量zui大厚度	300μm	1.5mm	6mm

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